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MX61L半导体检查显微镜
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MX61L半导体检查显微镜切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。

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MX61L半导体检查显微镜———慧龙环科

MX61L半导体检查显微镜能对应300 mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)

应对明视场观察到荧光观察的多种观察方法。MX61L半导体检查显微镜切换物镜时自动调节连动的亮度光圈等,实现了舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,能应对大型样本。


MX61L半导体检查显微镜详细参数:

光学系统

UIS2光学系统(无限远校正)

机身

观察方法

明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光

反射/透射

反射/透射

照明装置

机身一体型(明视场,暗视场+1选件)

照明系统

反射照明

100 W卤素/100 W水银/75 W氙

透射照明

纤维光导

对焦单元

电动/手动

手动

行程

32 mm

分辨率/微调灵敏度

微调旋钮转动1周移动0.1 mm

zui大样本高度

30 mm

物镜转换器

电动型

明视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉5孔 
明暗视场微分干涉6孔 
明暗视场微分干涉中心输出5孔

手动式

-

载物台

行程

8×8 英寸右下手柄:210(X)×210(Y)mm(透射照明范围189×189 mm) 
6×6 英寸右下手柄:158(X)×158(Y)mm

观察筒

广角视场(视场数22)

倒置

双目/三目观察筒

正像

三目观察筒

超宽视场(视场数26.5)

倒置

三目观察筒

正像

倾斜三目观察筒

附件单元

DUV单元/IR单元/电动载物台/自动装载

外形尺寸

509(W)×843(D)×507(H)mm(标准组合)

重量

40 kg(标准组合)


MX61L半导体检查显微镜,显微镜,慧龙热销

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详询:010-59476690

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